電子束曝光系統(tǒng)(electron beam lithography, EBL)是一種利用電子束在工件面上掃描直接產(chǎn)生圖形的裝置。由于SEM、STEM及FIB的工作方式與電子束曝光機(jī)十分相近,美國JC Nabity Lithography Systems公司成功研發(fā)了基于改造商品SEM、STEM或FIB的電子束曝光裝置(Nanometer Pattern Generation System納米圖形發(fā)生系統(tǒng),簡稱NPGS,又稱電子束微影系統(tǒng))。電子束曝光技術(shù)具有可直接刻畫精細(xì)圖案的優(yōu)點(diǎn),且高能電子束的波長短(< 1 nm),可避免繞射效應(yīng)的困擾,是實驗室制作微小納米電子元件理想選擇。相對于購買昂貴的用電子束曝光機(jī)臺,以既有的SEM等為基礎(chǔ),外加電子束控制系統(tǒng),透過電腦介面控制電子顯微鏡中電子束之矢量掃描,以進(jìn)行直接刻畫圖案,在造價方面可大幅節(jié)省,且兼具原SEM 的觀測功能,在功能與價格方面均具有優(yōu)勢。由于其具有高分辨率以及低成本等特點(diǎn),在北美研究機(jī)構(gòu)中,JC Nabity的NPGS是非常熱銷的配套于掃描電鏡的電子束微影曝光系統(tǒng),而且它的應(yīng)用在各地越來越廣泛。NPGS的技術(shù)目標(biāo)是提供一個功能強(qiáng)大的多樣化簡易操作系統(tǒng),結(jié)合使用市面上已有的掃描電鏡、掃描透射電鏡或聚焦離子束裝置,用來實現(xiàn)藝術(shù)的電子束或離子束平版印刷技術(shù)。NPGS能成功滿足這個目的,得到了當(dāng)眾多用戶的強(qiáng)烈推薦和一致肯定。一. 技術(shù)描述:為滿足納米電子束曝光的要求,JC Nabity的NPGS系統(tǒng)設(shè)計了一個納米圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路,并采用PC機(jī)控制。PC機(jī)通過圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路去驅(qū)動SEM等儀器的掃描線圈,從而使電子束偏轉(zhuǎn)并控制束閘的通斷。通過NPGS可以對標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行圖像采集以及掃描場的校正。配合精密定位的工件臺,還可以實現(xiàn)曝光場的拼接和套刻。利用配套軟件也可以新建或?qū)攵喾N通用格式的曝光圖形。(一) 電子源(Electron Source)曝照所需電子束是由既有的SEM、STEM或FIB產(chǎn)生的電子束(離子束)提供。(二) 電子束掃描控制(Beam Scanning Control)電子射出后,受數(shù)千乃至數(shù)萬伏特之加速電壓驅(qū)動沿顯微鏡中軸向下移動,并受中軸周圍磁透鏡(magnetic lens)作用形成聚焦電子束而對樣本表面進(jìn)行掃描與圖案刻畫。掃描方式可分為循序掃描(raster scan)與矢量掃描(vector scan)。循序掃描是控制電子束在既定的掃描范圍內(nèi)進(jìn)行逐點(diǎn)逐行的掃描,掃描的點(diǎn)距與行距由程式控制,而當(dāng)掃描到有微影圖案的區(qū)域時,電子束開啟進(jìn)行曝光,而當(dāng)掃描到無圖案區(qū)域時,電子束被阻斷;矢量掃描則是直接將電子束移動到掃描范圍內(nèi)有圖案的區(qū)域后開啟電子束進(jìn)行曝光,所需時間較少。掃描過程中,電子束的開啟與阻斷是由電子束阻斷器(beam blanker)所控制。電子束阻斷器通常安裝在磁透鏡組上方,其功效為產(chǎn)生一大偏轉(zhuǎn)磁場使電子束完全偏離中軸而無法到達(dá)樣本。(三) 阻劑(光阻)阻劑(resist)是轉(zhuǎn)移電子束曝照圖案的媒介。阻劑通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。高能電子束的照射會改變阻劑材料的特性,再經(jīng)過顯影(development)后,曝照(負(fù)阻劑)或未曝照(正阻劑)的區(qū)域?qū)粼诨谋砻,顯出所設(shè)計的微影圖案,而后續(xù)的制程將可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到阻劑以下的基材中。PMMA(poly-methyl methacrylate)是電子束微影中很常用的正阻劑,是由單體甲基丙烯酸甲酯(methyl methacrylate, MMA)經(jīng)聚合反應(yīng)而成。用在電子阻劑的PMMA 通常分子量在數(shù)萬至數(shù)十萬之間,受電子束照射的區(qū)域PMMA 分子量將變成數(shù)百至數(shù)千,在顯影時低分子量與高分子量PMMA 溶解度的對比非常大。負(fù)阻劑方面,多半由聚合物的單體構(gòu)成。在電子束曝照的過程中會產(chǎn)生聚合反應(yīng)形成長鏈或交叉鏈結(jié)(crosslinking)聚合物,所產(chǎn)生的聚合物較不易被顯影液溶解因而在顯影后會留在基板表面形成微影圖案。目常用的負(fù)阻劑為化學(xué)倍增式阻劑(chemically amplified resist),經(jīng)電子束曝照后產(chǎn)生氫離子催化鏈結(jié)反應(yīng),具有高解析度、高感度,且抗蝕刻性高。(四) 基本工序電子束微影曝光技術(shù)的基本工序與光微影曝光技術(shù)相似,從上阻、曝照到顯影,各步驟的參數(shù)(如溫度、時間等等)均有賴于使用者視需要進(jìn)行校對與調(diào)整。二. 主要技術(shù)指標(biāo):型號:NPGS細(xì)線寬(μm):根據(jù)SEM小束斑(μm):根據(jù)SEM掃描場:可調(diào)加速電壓:根據(jù)SEM,一般為0-40kV速度:5MHz(可選6MHz)A. 硬件:微影控制介面卡:NPGS PCI-516A High Speed Lithography Board,high resolution (0.25%)控制電腦:Pentium IV 3.0GHz/ 512Mb RAM/ 80G HD/ Windows XP皮可安培計:KEITHLEY 6485 PicoammeterB. 軟件:微影控制軟件 NPGS V9.1 for Windows2000 或 XP 圖案設(shè)計軟件 DesignCAD LT 2000 for Windows三. 應(yīng)用簡述NPGS電鏡改裝系統(tǒng)能夠制備出具有高深寬比的微細(xì)結(jié)構(gòu)納米線條,從而為微電子域如高精度掩模制作、微機(jī)電器件制造、新型IC研發(fā)等相關(guān)的微/納加工技術(shù)提供了新的方法。NPGS系統(tǒng)作為制作納米尺度的微小結(jié)構(gòu)與電子元件的技術(shù)平臺,以此為基礎(chǔ)可與各種制程技術(shù)與應(yīng)用結(jié)合。應(yīng)用范圍和域取決于客戶的現(xiàn)有資源,例如: NPGS電子束曝光系統(tǒng)可與等離子應(yīng)用技術(shù)做很有效的整合,進(jìn)行各項等離子制程應(yīng)用的開發(fā)研究,簡述如下:(一) 半導(dǎo)體元件制程等離子制程已廣泛應(yīng)用于當(dāng)半導(dǎo)體元件制程,可視為電子束微影曝光技術(shù)的下游工程。例如:(1) 等離子刻蝕(plasma etching)(2) 等離子氣相薄膜沉積(plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD)(3) 濺鍍(sputtering)(二) 微機(jī)電元件制程(Semiconductor Processing)微機(jī)電元件在制程上與傳統(tǒng)半導(dǎo)體元件制作有其差異性。就等離子相關(guān)制程而言,深刻蝕(deep etching)是主要的應(yīng)用,其目標(biāo)往往是完成深寬比達(dá)到102 等的深溝刻蝕或晶圓穿透刻蝕。而為達(dá)成高深寬比,深刻蝕采用二種氣體等離子交替的過程。刻蝕完成后可輕易以氧等離子去除側(cè)壁覆蓋之高分子。在微機(jī)電元件制作上,深刻蝕可與電子束微影曝光技術(shù)密切結(jié)合。電子束微影曝光技術(shù)在圖案設(shè)計上之自由度十分符合復(fù)雜多變化的微機(jī)電元件構(gòu)圖。一旦完成圖案定義,將轉(zhuǎn)由深刻蝕技術(shù)將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓基板。
設(shè)備型號 | FC/BJD-2000 | FC/BCD-2800 | FC-3800 | FC-4400 |
2inch 晶圓 | 42 | N/A | N/A | N/A |
3inch 晶圓 | 17 | 47 | N/A | N/A |
100mm晶圓 | 13 | 25 | 53 | 55 |
150mm晶圓 | 5 | 12 | 25 | 30 |
200mm晶圓 | N/A | 6 | 14 | 15 |
聯(lián)系人:張先生 139- (#qq.com)
供應(yīng)真空電子束焊機(jī)真空泵,電子束在配置大路通DLT.V0300真空泵的真空環(huán)境里焊接因具有不用焊條、不易氧化、工藝重復(fù)性好及熱變形量小的優(yōu)點(diǎn)而廣泛應(yīng)用于航空航天、原子能、國防及軍工、汽車和電氣電工儀表等眾多行業(yè)。電子束焊接要求真空度很高,一般是需要配置多臺真空泵才能達(dá)到要求,大路通DLT.V0300真空泵是一款結(jié)構(gòu)緊湊,堅固耐用,安全環(huán)保的真空泵,轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),真空泵高,所以多作為真空電子束焊機(jī)的前級泵配置。本公司技術(shù)人員集多年的行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗,借鑒多款歐美產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn),結(jié)合中國用戶的使用維護(hù)習(xí)慣而獨(dú)立開發(fā)的產(chǎn)品.選用優(yōu)質(zhì)配套件,采用先進(jìn)的加工裝配工藝,確保產(chǎn)品的高品質(zhì)及可靠性.DLT.V0300真空泵能長期不間斷運(yùn)行.DLT.V0300真空泵參數(shù)抽氣速率: 300立方米/小時極限壓力: 0.1mbar電 源:380V 電機(jī)功率: 7.5KW重量: 約210KG可按應(yīng)用要求配置多種附件, 體積緊湊,運(yùn)行寧靜,尤其適合各類機(jī)械設(shè)備配套.產(chǎn)品特點(diǎn):1.設(shè)計精密.結(jié)構(gòu)堅固.重量輕.易于安裝及維護(hù).1.低噪音,低震動,工作環(huán)境不會受影響 2.內(nèi)置高效油霧過濾器,所排出的氣體不含油霧 3.采用風(fēng)冷卻,但較大型的真空泵配有冷卻風(fēng)管,利用風(fēng)扇將風(fēng)管內(nèi)的潤滑油冷卻,提高冷卻效果 4.內(nèi)置止回閥及氣鎮(zhèn)閥,可避免停機(jī)后泵逆轉(zhuǎn)而造成油逆流及避免高真空環(huán)境下,空氣所含水氣經(jīng)壓縮凝結(jié)成水點(diǎn),造成潤滑油乳化變質(zhì)5.抽風(fēng)量強(qiáng)勁,極限真空可達(dá)到0.1mbar(10Pa)6.運(yùn)轉(zhuǎn)聲音小.大路通真空泵已普遍應(yīng)用于各類儀器真空包裝,橡膠和塑料工業(yè)上的真空吸塑成形,印刷工業(yè)上的紙張輸送,各類鑄件的真空浸漬防漏,機(jī)械加工上的真空夾具,電子半導(dǎo)體工業(yè)上的元器件真空裝夾定位,化工上的真空干燥,過濾,大型機(jī)械零件在空真狀態(tài)下的動平衡試驗以及醫(yī)院手術(shù)室的真空吸引等在本型泵所能達(dá)到的真空范圍的各種真空處理。適用機(jī)械:硫化機(jī)/加硫機(jī)/吸塑機(jī)/層壓機(jī)/橡膠硫化機(jī)/精雕機(jī)/自動化機(jī)械手/吸附加工/真空貼膜機(jī)/食品包裝機(jī)/線路板/薄膜開關(guān)/模具抽真空/真空機(jī)床吸盤/雕銑機(jī)/高光機(jī)/CD紋機(jī)/數(shù)控批花機(jī)/含浸機(jī)/浸漆機(jī)/破波機(jī)/脫泡機(jī)/灌膠機(jī)/點(diǎn)膠機(jī)/注型機(jī)/電子束焊機(jī)
電子束實驗儀 型號:M292648 | |
研究電子在電場和磁場中運(yùn)動變化規(guī)律,可進(jìn)行電偏轉(zhuǎn)、電聚焦磁偏轉(zhuǎn)、磁聚焦、電子荷質(zhì)比實驗。 1、一體化結(jié)構(gòu),有5只數(shù)顯表獨(dú)立顯示各部分電壓、電流,無須轉(zhuǎn)換就可同時讀數(shù)。 2、采用模塊化設(shè)計,有完善的保護(hù)電路,配以高且?guī)в凶o(hù)套的專用連接線,確保實驗安全、、經(jīng)久耐用。 3、配有可達(dá)3.5A的磁偏轉(zhuǎn)電流源可方便地實現(xiàn)二次聚焦。 |
電子束演示儀采用8SJ31G型靜電偏轉(zhuǎn)陰極射線演示管。當(dāng)該管各極加上工作電壓后,從陰極射出具有能量的電子束,由于電子束是不可以用肉眼觀察到的,所以通過將電子束加速增加其動量去轟擊用特殊材料制作成的熒光屏幕,使屏幕發(fā)光,顯示電子束的徑跡。
儀器的主要用途:(1)演示加速后的電子,在沒有外來電場或磁場的作用時,按直線運(yùn)動。(2)觀察電子束在電場的作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)。(3)觀察電子束在磁場中所受的洛侖茲力。(4)說明熱電子發(fā)射現(xiàn)象。該儀器設(shè)計合理,體積小重量輕,使用方便,安全可靠,維護(hù)、維修極為便利。
二、技術(shù)性能:
2-1、加速電壓:0~700伏 連續(xù)可調(diào)。
2-2、偏轉(zhuǎn)電壓:幅度為0~50伏 連續(xù)可調(diào)。
2-3、偏轉(zhuǎn)方向:上、下、左、右四個方向。(電場作用)
2-4、顯示方式:熒光屏幕顯示電子束徑跡。
2-5、電源:220V±10% 50Hz。
2-6、功耗:<30W。
2-7、工作環(huán)境:a)溫度:0~40℃。
b)相對濕度:<85%。
2-8、連續(xù)工作時間:小時。