復(fù)合控溫寬溫域高低溫真空探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,x-y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置,接下來(lái)通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的x-y-z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊,號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過(guò)測(cè)試機(jī)可以得到所需要的電性能參數(shù)。
更新時(shí)間:2025-07-04